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| 应用行业领域 | 电子信息-计算机软件 |
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| 适用范围 | |
| 成果内容简介 |
随着工业化进程的加速推进，人类社会各方面的发展对化石燃料的消耗与日俱增，而由此产生的大气环境污染问题也愈发严重，对人类的生存和健康、自然生态环境造成极大的损害。基于固体电解质的气体传感器，结合先进的 MEMS 和镀膜技术，对于 CO2、SO2等污染性气体浓度的实时监测、防治十分重要。项目以 Li3PO4、Li3PO4-Li2SiO3薄膜固体电解质薄膜作为导电介质，研制 CO2、SO2等环境监测气体传感器。通过固体电解质薄膜的 CO2、SO2气体传感器的响应原理分析，设计了集成式环境监测气体传感器，选择了合适的反应电极材料，结合 MEMS 薄厚膜工艺，采用热阻蒸发镀膜工艺沉积 Li3PO4固体电解质薄膜，丝网印刷厚膜技术制备反应电极和加热电极，完成了集成式微型 CO2、SO2气体传感器 的研制、封装、测试，为工业应用奠定了基础。微型气体传感器可实现 CO2和 SO2 气体的高精度监测，并具有体积小、功耗低、成本低的特点。 |
| 前期应用示范情况 | |
| 获得研发资助情况 | |
| 转化应用前景 |
