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微型集成式固体电解质环境监测气体传感器

评论:0 发布时间:2021-04-07
行业领域:信息传输、软件和信息技术服务业 —— 软件和信息技术服务业
专利信息: 非专利技术
成熟度: 已有样品
技术合作方式: 完全转让
技术推广方式: 正在技术推广
技术交易价格: 面议
  • 信息描述
应用行业领域 电子信息-计算机软件
适用范围
成果内容简介 随着工业化进程的加速推进,人类社会各方面的发展对化石燃料的消耗与日俱增,而由此产生的大气环境污染问题也愈发严重,对人类的生存和健康、自然生态环境造成极大的损害。基于固体电解质的气体传感器,结合先进的 MEMS 和镀膜技术,对于 CO2、SO2等污染性气体浓度的实时监测、防治十分重要。项目以 Li3PO4、Li3PO4-Li2SiO3薄膜固体电解质薄膜作为导电介质,研制 CO2、SO2等环境监测气体传感器。通过固体电解质薄膜的 CO2、SO2气体传感器的响应原理分析,设计了集成式环境监测气体传感器,选择了合适的反应电极材料,结合 MEMS 薄厚膜工艺,采用热阻蒸发镀膜工艺沉积 Li3PO4固体电解质薄膜,丝网印刷厚膜技术制备反应电极和加热电极,完成了集成式微型 CO2、SO2气体传感器 
的研制、封装、测试,为工业应用奠定了基础。微型气体传感器可实现 CO2和 SO2 气体的高精度监测,并具有体积小、功耗低、成本低的特点。
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